高性能探測器：搭配高性能探測器，在檢測多層合金、上下元素重復鍍層及滲層時更加精準、穩定

變焦裝置及位置補償算法：可對各種異性凹槽進行檢測，凹槽深度測量范圍可達0-30mm

自主研發EFP算法：Li（3）-U（92）元素的涂鍍層，多層多元素，甚至有同種元素在不同層也可精確測量

高集成光路系統：搭配微聚焦一體的高集成垂直光路交換裝置

的解譜技術：減少能量相近元素的干擾，降低檢出限