飛行時間二次離子質譜(TOF-SIMS)
技術參數
1.空間分辨率:使用25千伏Ga脈沖離子束,使用PHI提供的監測結構,空間分辨率*120 nm
2.質量精確度: 在小于m/z = 100情況下,*2 mamu,在大于m/z = 100,<10 ppm
3.傳輸率: 40%的原子,90%的分子,數值由離子光學模擬計算得出。
主要特點
1.標準配置In,Ga離子槍,還可以選配Cs/O離子源和Au離子源
2.高靈敏度,高成像清晰度,無陰影效應
3.動態范圍寬
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