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【儀器網(wǎng) 行業(yè)應(yīng)用】光學(xué)顯微鏡是大家熟悉的實(shí)驗(yàn)室儀器之一，但事實(shí)上，在實(shí)際使用中光學(xué)顯微鏡存在局限，它是一種二維的形態(tài)學(xué)工具，因此如果要在高倍率下觀察表面的三維形態(tài)，特別是縱向方向的形態(tài)，通常一定需要使用SEM。但有些樣品使用SEM會(huì)碰到以下困難：
1、樣品本身比較大，且不能做分割的器件組，雖然被觀察的部分是微小的局部，但整個(gè)樣品難以放入SEM中。
2、非金屬樣品，且不適合做導(dǎo)電性處理。特別是一些對(duì)微小處理很敏感的樣品。
3、無(wú)法測(cè)量多種尺寸數(shù)據(jù)，比如體積，面積，粗糙度等等。
針對(duì)這些問(wèn)題，SEM廠家在不斷推出更新的技術(shù)。激光掃描共焦顯微鏡(CF-LSM)就是一種能較為有效彌補(bǔ)這些問(wèn)題的顯微技術(shù)。
激光共聚焦顯微鏡在材料領(lǐng)域應(yīng)用初探
共聚焦激光掃描顯微鏡的發(fā)展在國(guó)外，主要為日本。是從80年代末期開(kāi)始的，目前在日本，共聚焦激光掃描顯微鏡已經(jīng)是一種被廣泛采用的技術(shù)，既用來(lái)觀察樣品表面亞微米程度(0.12微米)的三維形態(tài)和形貌，又可以測(cè)量多種微小的尺寸，諸如體積、面積、晶粒、膜厚、深度、長(zhǎng)寬、線粗糙度、面粗糙度等等。
另外，它還有以下特點(diǎn)：
1、使用方便,與一般光學(xué)相似,且全部采用計(jì)算機(jī)直觀控制。
2、基本無(wú)須制樣,不損傷樣品。不需要做導(dǎo)電處理,也容許大尺寸樣品直接觀察,*不破壞樣品。
3、幾十秒到一兩分鐘即完成全部的掃描，成像，測(cè)量采樣工作。該設(shè)備目前已經(jīng)為吉林大學(xué)，哈爾濱工業(yè)大學(xué)用于材料和機(jī)械加工方面的研究。
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