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深圳市深國安電子科技有限...

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深國安在線式三氟化氮(NF?)氣體檢測(cè)儀/進(jìn)口紅外原理(高精度)

閱讀:24      發(fā)布時(shí)間:2025-6-19
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深國安SGA-501-NF3-SM-Q在線式三氟化氮?dú)怏w檢測(cè)儀:以紅外科技守護(hù)工業(yè)安全的“智能哨兵"

在半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)及電子工業(yè)高速發(fā)展的今天,三氟化氮(NF?)作為關(guān)鍵的電子特氣,被廣泛應(yīng)用于等離子蝕刻、硅片清洗等核心工藝。然而,其強(qiáng)氧化性、低毒性及溫室效應(yīng)特性(在大氣中可穩(wěn)定存在約550年),對(duì)生產(chǎn)安全與環(huán)境監(jiān)測(cè)提出了嚴(yán)苛要求。深國安電子深耕氣體檢測(cè)領(lǐng)域十余載,精準(zhǔn)契合行業(yè)需求,推出SGA-501-NF3-SM-Q在線式三氟化氮?dú)怏w檢測(cè)儀,以進(jìn)口紅外線原理為核心,為工業(yè)場景構(gòu)建起“實(shí)時(shí)、精準(zhǔn)、智能"的安全防線。

三氟化氮檢測(cè)儀(紅外原理).png


核心技術(shù):進(jìn)口紅外傳感,定義工業(yè)級(jí)精度標(biāo)干

SGA-501-NF3-SM-Q采用國際一線的紅外線氣體傳感器,依托非分散紅外吸收法/NDIR原理,對(duì)三氟化氮分子的特征進(jìn)行高靈敏度識(shí)別,實(shí)現(xiàn)24小時(shí)連續(xù)在線監(jiān)測(cè)。相較于傳統(tǒng)檢測(cè)技術(shù),其優(yōu)勢(shì)顯著:

  • 高精度與穩(wěn)定性:全量程溫濕度補(bǔ)償+智能運(yùn)算算法,確保在高溫(支持800℃環(huán)境采樣)、高濕(99%RH)、高塵(過濾1μm以上顆粒物)等復(fù)雜工況下,測(cè)量誤差仍≤±3%FS,長期使用無漂移;

  • 快速響應(yīng)與抗干擾:32位納米級(jí)微處理器+24位超高ADC采集芯片,信號(hào)處理速度提升50%,可快速捕捉0.1ppm級(jí)微小泄漏,同時(shí)抗電磁干擾能力強(qiáng),適配強(qiáng)磁、高靜電等嚴(yán)苛環(huán)境;

  • 多場景兼容:適配半導(dǎo)體潔凈車間、氣體儲(chǔ)存罐區(qū)、光伏硅片處理線等不同場景需求。


智能防護(hù):從監(jiān)測(cè)到聯(lián)動(dòng),構(gòu)建安全閉環(huán)

深國安SGA-501-NF3-SM-Q不僅是“監(jiān)測(cè)者",更是“守護(hù)者",通過多重智能設(shè)計(jì)將風(fēng)險(xiǎn)消滅于萌芽:

  • 可視化預(yù)警:2.4英寸高清液晶彩屏實(shí)時(shí)顯示氣體濃度(PPM/mg/m3雙單位切換)、溫濕度及設(shè)備狀態(tài),超標(biāo)時(shí)同步觸發(fā)85dB聲光報(bào)警(紅/黃/綠三色指示燈直觀區(qū)分正常/預(yù)警/危險(xiǎn)狀態(tài));

  • 聯(lián)動(dòng)處置:內(nèi)置2組無源觸點(diǎn)繼電器,支持與風(fēng)機(jī)、切斷閥、噴淋系統(tǒng)等設(shè)備聯(lián)動(dòng),濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)排風(fēng)或關(guān)閉氣源,實(shí)現(xiàn)“監(jiān)測(cè)-報(bào)警-處置"一體化;

  • 遠(yuǎn)程管理:支持4-20mA、RS485有線信號(hào)及WIFI/GPRS無線傳輸,數(shù)據(jù)可實(shí)時(shí)上傳至深國安物聯(lián)網(wǎng)平臺(tái),通過PC端或手機(jī)APP遠(yuǎn)程查看、存儲(chǔ)(支持10萬條數(shù)據(jù))及導(dǎo)出,異常時(shí)微信/短信/郵件多渠道推送,真正實(shí)現(xiàn)“掌上安全"。


安全認(rèn)證:資質(zhì)齊全,工業(yè)場景的“安心之選"

深國安始終以“工業(yè)級(jí)安全"為研發(fā)底線,SGA-501-NF3-SM-Q嚴(yán)格符合GB50493-2009《石油化工可燃?xì)怏w和有毒氣體檢測(cè)報(bào)警設(shè)計(jì)規(guī)范》,并通過多項(xiàng)認(rèn)證:

  • 防爆認(rèn)證:ExdⅡCT6 Gb防爆等級(jí),可直接安裝于1區(qū)、2區(qū)危險(xiǎn)場所;

  • 防護(hù)認(rèn)證:IP67級(jí)防護(hù),鋁合金鑄體外殼+納米涂層,防腐蝕、抗震動(dòng),戶外長期使用無損耗;

  • 國際認(rèn)可:獲歐盟CE、ROHS雙認(rèn)證,產(chǎn)品遠(yuǎn)銷新加坡、馬來西亞等20+國家與地區(qū),品質(zhì)經(jīng)全球工業(yè)場景驗(yàn)證。

三氟化氮檢測(cè)儀(紅外原理).jpg


應(yīng)用場景:覆蓋電子特氣全生命周期,守護(hù)每一寸安全

從三氟化氮的生產(chǎn)、儲(chǔ)存到使用,SGA-501-NF3-SM-Q的身影貫穿全鏈條:

  • 半導(dǎo)體制造:在晶圓蝕刻、CVD設(shè)備周邊及氣體管道閥門處部署,精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)微量泄漏,保障芯片良率與人員健康;

  • 光伏產(chǎn)業(yè):于硅片清洗車間、氣體鋼瓶柜附近安裝,防止因三氟化氮泄漏導(dǎo)致的工藝異常與環(huán)境風(fēng)險(xiǎn);

  • 氣體生產(chǎn)/儲(chǔ)運(yùn):在合成反應(yīng)釜、儲(chǔ)罐區(qū)及運(yùn)輸管道關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)設(shè)置,實(shí)時(shí)預(yù)警泄漏,避免爆炸、中毒等事故。


結(jié)語
在“雙碳"目標(biāo)與工業(yè)安全升級(jí)的雙重驅(qū)動(dòng)下,深國安SGA-501-NF3-SM-Q在線式三氟化氮?dú)怏w檢測(cè)儀以進(jìn)口紅外科技為核心,以“精準(zhǔn)、智能、可靠"的性能,成為電子特氣領(lǐng)域的“安全基石"。2025年,深國安持續(xù)以技術(shù)創(chuàng)新賦能工業(yè)安全,用每一臺(tái)設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行,為全球制造業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展保駕護(hù)航。

深國安——讓氣體監(jiān)測(cè)更簡單,讓工業(yè)安全更可靠!


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